一种TOPCon光伏电池及其制备方法，属于光伏电池技术领域。现有的TOPCon电池结构通常用SiNx、Al2O3/SiNx对N型、P型区域表面进行钝化。SiNx与Si之间、Al2O3与Si之间均会存在一定的晶格失配，电池转换效率低。本发明以N型硅衬底，正面设置P型掺杂区，P型掺杂区的表面钝化结构为：沿着远离P型掺杂区的方向依次设置的SiO2层、Al2O3层和SiNx层；N型硅衬底的表面钝化结构为：沿着远离N型硅衬底的方向依次设置的SiO2层、多晶硅层和SiO2/SiOxNy/SiNx复合掺杂层，降低晶格失配程度，降低界面处的态密度，使电池转换效率更高。