- 专利标题: 一种晶圆芯片的检测方法、装置、电子设备及存储介质
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申请号: CN202210828778.6申请日: 2022-07-15
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公开(公告)号: CN115020265B公开(公告)日: 2022-10-11
- 发明人: 姜允虎
- 申请人: 深圳微迅信息科技有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201室
- 专利权人: 深圳微迅信息科技有限公司
- 当前专利权人: 深圳市赛美特信息技术有限公司
- 当前专利权人地址: 518100 广东省深圳市宝安区新安街道文汇社区宝民一路284号北方汽车大厦503
- 代理机构: 北京超凡宏宇专利代理事务所
- 代理商 刘凤
- 主分类号: H01L21/66
- IPC分类号: H01L21/66
摘要:
本申请提供了一种晶圆芯片的检测方法、装置、电子设备及存储介质。晶圆芯片的检测方法包括:基于预设数量的晶圆芯片在目标参数下对应的测量值组成的目标序列中的第一四分位数以及第三四分位数,确定目标参数对应的上限值以及下限值;根据目标参数对应的上限值以及下限值,对预设数量的目标参数下对应的测量值进行过滤,得到过滤后的目标参数下对应的目标测量值。本申请通过采用第一四分位数以及第三四分位数来对目标参数下对应测量值进行过滤,得到目标测量值,并基于目标测量值,筛选掉了测量值分散程度较大的没有参考意义的数据,进而提升了统计控制图的精确度,使得针对统计控制图中每个目标测量值对应的晶圆芯片的品质分析更准确。
公开/授权文献
- CN115020265A 一种晶圆芯片的检测方法、装置、电子设备及存储介质 公开/授权日:2022-09-06
IPC分类: