- 专利标题: 一种基于阶梯锥形流道的低压差稳态真空吸盘
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申请号: CN202210811710.7申请日: 2022-07-12
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公开(公告)号: CN114883240B公开(公告)日: 2022-09-23
- 发明人: 唐果 , 胡赞 , 周典航 , 朱银锋 , 余钰洋 , 宋钢
- 申请人: 中科领航医疗科技有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市高新区海棠路399号生产研发楼13层
- 专利权人: 中科领航医疗科技有限公司
- 当前专利权人: 中科领航医疗科技有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市高新区海棠路399号生产研发楼13层
- 主分类号: H01L21/683
- IPC分类号: H01L21/683
摘要:
本发明公开了一种基于阶梯锥形流道的低压差稳态真空吸盘,属于工装夹具技术领域,包括顶盖和底座,所述顶盖的顶部固接有多个凸台,每一个凸台的顶部与多个限位柱的底部固接,每一个凸台上还开设有多个吸气孔,且每一个吸气孔都贯穿凸台和顶盖,顶盖的侧壁上开设有防滑层,顶盖的顶部靠近防滑层的位置开设有多个定位孔;通过顶盖上开设的定位孔和底座上固接的定位销的配合,使得顶盖和底座间保持相对稳定,利用顶盖底部开设的压槽通过密封条与环形槽的配合,进一步使得顶盖和底座间保持稳定,避免芯片在加工过程中顶盖与底座发生相对移动,确保吸气孔的底部始终与导流槽连通,使得真空吸盘可以稳定的运行。
公开/授权文献
- CN114883240A 一种基于阶梯锥形流道的低压差稳态真空吸盘 公开/授权日:2022-08-09
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