一种基于阶梯锥形流道的低压差稳态真空吸盘
摘要:
本发明公开了一种基于阶梯锥形流道的低压差稳态真空吸盘,属于工装夹具技术领域,包括顶盖和底座,所述顶盖的顶部固接有多个凸台,每一个凸台的顶部与多个限位柱的底部固接,每一个凸台上还开设有多个吸气孔,且每一个吸气孔都贯穿凸台和顶盖,顶盖的侧壁上开设有防滑层,顶盖的顶部靠近防滑层的位置开设有多个定位孔;通过顶盖上开设的定位孔和底座上固接的定位销的配合,使得顶盖和底座间保持相对稳定,利用顶盖底部开设的压槽通过密封条与环形槽的配合,进一步使得顶盖和底座间保持稳定,避免芯片在加工过程中顶盖与底座发生相对移动,确保吸气孔的底部始终与导流槽连通,使得真空吸盘可以稳定的运行。
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