本发明公开了一种便捷式大直径硅片片盒清洗设备，包括底座，所述底座的顶部设置有清洗箱，所述底座的内部固定安装有电机，所述电机的输出端贯穿清洗箱安装有中心轴，所述中心轴的外侧表面固定安装有片盒架，所述片盒架上方的清洗箱内部环绕设置有喷淋口，所述喷淋口上方的清洗箱内壁环绕设置有烘干管，所述清洗箱的一侧表面设置有加热管，所述加热管的下方设置有温控器，所述清洗箱的一侧表面贯穿设置有溢流管。该一种便捷式大直径硅片片盒清洗设备，首先通过设置的密闭空间，使得硅片清洗过程中不与外界进行接触，同时经过3次纯水喷淋，以及通过加12次旋转高温配合低温交替烘干，大大提高了片盒的整体清洁度。