发明公开
- 专利标题: 还原炉底盘冷却结构
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申请号: CN202210269186.5申请日: 2022-03-18
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公开(公告)号: CN114671439A公开(公告)日: 2022-06-28
- 发明人: 莫可璋 , 谭忠芳 , 杨涛 , 丁建
- 申请人: 新疆大全新能源股份有限公司 , 内蒙古大全新能源有限公司
- 申请人地址: 新疆维吾尔自治区石河子经济开发区化工新材料产业园纬六路16号;
- 专利权人: 新疆大全新能源股份有限公司,内蒙古大全新能源有限公司
- 当前专利权人: 新疆大全新能源股份有限公司,内蒙古大全新能源有限公司
- 当前专利权人地址: 新疆维吾尔自治区石河子经济开发区化工新材料产业园纬六路16号;
- 代理机构: 北京鼎佳达知识产权代理事务所
- 代理商 刘铁生; 孟阿妮
- 主分类号: C01B33/035
- IPC分类号: C01B33/035
摘要:
本发明公开了一种还原炉底盘冷却结构,涉及多晶硅生产设备技术领域,主要目的是提供一种能够均匀排出尾气,并且保证还原炉内的温度场和速度场分布更加均匀,使得硅棒的不同位置的生长速率趋于平衡的还原炉底盘冷却结构。本发明的主要技术方案为:一种还原炉底盘冷却结构,包括:底盘,底盘具有冷却管道和多个排气孔;冷却部件,底盘套管包括进水管道、尾气管道和排水管道,进水管道套在尾气管道的外部,进水管道连接于冷却管道,冷却管道连接于排水管道,尾气管道的一端连接于多个排气孔,排气套管包括第一气管和第一水管,第一气管与尾气管道的另一端相互连通,第一水管套在第一气管的外部。本发明主要用于排出冷却还原炉尾气。
公开/授权文献
- CN114671439B 还原炉底盘冷却结构 公开/授权日:2024-07-09
IPC分类: