还原炉底盘冷却结构
摘要:
本发明公开了一种还原炉底盘冷却结构,涉及多晶硅生产设备技术领域,主要目的是提供一种能够均匀排出尾气,并且保证还原炉内的温度场和速度场分布更加均匀,使得硅棒的不同位置的生长速率趋于平衡的还原炉底盘冷却结构。本发明的主要技术方案为:一种还原炉底盘冷却结构,包括:底盘,底盘具有冷却管道和多个排气孔;冷却部件,底盘套管包括进水管道、尾气管道和排水管道,进水管道套在尾气管道的外部,进水管道连接于冷却管道,冷却管道连接于排水管道,尾气管道的一端连接于多个排气孔,排气套管包括第一气管和第一水管,第一气管与尾气管道的另一端相互连通,第一水管套在第一气管的外部。本发明主要用于排出冷却还原炉尾气。
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