一种基于深紫外光谱分析和图像识别的光学分析仪器，包括：深紫外激光光源和辅助光源、样品台、第一光学成像模块和光谱分析探测器，本发明以深紫外激光作为激发光源，结合辅助光源照射样品，以光谱分析结合高清图像分析，可以自动快速检测光学材料及光学器件的质量；能够通过扫描检测精确定位光学材料及光学器件的缺陷存在区域，对光学材料的缺陷类型进行判定，分析光学材料的成分均匀性；通过深紫外激光和辅助光源的协同检测，能够更为精细地检测光学器件的加工质量；智能化比对技术结合数据库可以高效自动完成光学材料和光学器件的品质分析。