滑阀式流量控制阀及其制造方法
摘要:
本发明提供一种可控性高的滑阀式流量控制阀。滑阀式流量控制阀(100)具备:套管(104),形成有供给口(130)、控制口(132)及排气口(134);及阀芯(106),以能够在套管(104)内沿着轴向移动的方式容纳于套管(104)内且具有阀体(120),该滑阀式流量控制阀(100)通过阀体(120)来控制控制口(132)的开口面积从而控制流量。内部泄漏量的最大值与最小值之差为规定的阈值以下,其中,该内部泄漏量为在切断控制口(132)的状态下从供给口(130)供给的气体从排气口(134)排出的流量。
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