发明授权
- 专利标题: 一种空心二氧化硅及其制备方法和应用
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申请号: CN202210062604.3申请日: 2022-01-19
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公开(公告)号: CN114620737B公开(公告)日: 2023-09-15
- 发明人: 王宁 , 罗思程 , 陈田田 , 赵涛 , 朱朋莉 , 孙蓉
- 申请人: 深圳先进电子材料国际创新研究院
- 申请人地址: 广东省深圳市宝安区福永街道龙王庙工业区
- 专利权人: 深圳先进电子材料国际创新研究院
- 当前专利权人: 深圳先进电子材料国际创新研究院
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市宝安区福永街道龙王庙工业区
- 代理机构: 北京市诚辉律师事务所
- 代理商 范盈; 李玉娜
- 主分类号: C01B33/18
- IPC分类号: C01B33/18 ; H01L23/29
摘要:
本发明公开了一种空心二氧化硅及其制备方法和应用。制备方法包括:1)将单质硅粉分散在液相反应体系中,得到硅粉分散液;2)向步骤1)得到的硅粉分散液中缓慢滴加氨水至反应体系的pH为10~10.4,然后进行水热反应。本发明将单质硅粉在水热反应中通过硅原子及羟基的界面扩散、初步氧化及空心化制备空心二氧化硅。本发明利用界面处的柯肯达尔效应制备的空心二氧化硅表面致密、具有低应力、高机械强度以及低吸湿的特点,其作为电子封装材料的填料,能够提高可靠性、降低介电常数和介电损耗;本发明提供的空心二氧化硅,制备方法简单,无需多步反应,成本低廉,具有较高的应用价值。
公开/授权文献
- CN114620737A 一种空心二氧化硅及其制备方法和应用 公开/授权日:2022-06-14