一种高效率反射式太赫兹波束偏折器，包括M×N阵列排列的超排列单元，所述超排列单元由K个1×K排列的超表面单元组成，所述超表面单元包括介质基板、位于介质基板上表面的矩形贴片和位于介质基板下表面的金属层，所述矩形贴片与介质基板具有相同的中心；所述超排列单元中的K个超表面单元的矩形贴片的长度各不相同。本发明提供的一种高效率反射式太赫兹波束偏折器，可实现对线极化馈源的反射传输，在线极化电磁波的激励下，实现了工作频点附近良好的波束偏转效果，且该超表面的反射效率达到90％以上。