本发明公开了一种忆阻器制备用晶圆拉晶装置，包括炉体、坩埚以及经推拉杆设置于坩埚内部的籽晶，炉体内部还设置有用于向籽晶与坩埚内液体的接触处通惰性气体的进气机构以及用于将携带氧化物的惰性气体排出炉体的排气机构，排气机构与籽晶之间设置有气体导向机构，炉体内部对应气体导向机构对准坩埚的位置设置有吹气机构，用于将携带氧化物的惰性气体吹向排气机构，避免氧化物在与坩埚对应的气体导向机构上累积。本发明采用上述结构的忆阻器制备用晶圆拉晶装置，通过对应气体导向机构设置吹气机构，可将对应坩埚设置的气体导向机构的携带氧化物的惰性气体快速吹向排气机构，避免氧化物颗粒累积掉落至坩埚内部影响拉晶的晶棒质量。