发明公开
- 专利标题： 原料气体供给系统和原料气体供给方法
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申请号： CN202080063295.0申请日： 2020-09-09
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公开(公告)号： CN114391051A公开(公告)日： 2022-04-22
- 发明人: 冈部庸之 , 大仓成幸 , 小森荣一
- 申请人： 东京毅力科创株式会社
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人： 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 龙淳; 徐飞跃
- 优先权： 2019-169358 20190918 JP 2020-147372 20200902 JP
- 国际申请： PCT/JP2020/034087 2020.09.09
- 国际公布： WO2021/054216 JA 2021.03.25
- 进入国家日期： 2022-03-08
- 主分类号： C23C16/06
- IPC分类号： C23C16/06 ; C23C16/448 ; C23C16/455
摘要：
本发明为一种对处理装置供给原料气体的原料气体供给系统，所述原料气体是通过将固体原料气化来生成的，所述原料气体供给系统包括：将所述固体原料气化来生成所述原料气体的气化装置；送出机构，其从贮存有分散系的贮存容器向所述气化装置送出所述分散系，其中，所述分散系是在液体中分散所述固态原料而成的；和分离机构，其在所述气化装置内从所述分散系中分离出所述固体原料。
公开/授权文献
- CN114391051B 原料气体供给系统和原料气体供给方法 公开/授权日：2024-06-04
IPC分类:
