一种精准控制单晶生长界面的方法
摘要:
本发明公开了一种精准控制单晶生长界面的方法,包括以下步骤:(1)等径直径稳定后,通过单晶炉客户端依次获得等径过程中直径稳定位置A和单晶重量W1、位置B和单晶重量W2、位置C和单晶重量W3;其中位置C为生长界面所在位置,计算位置A到位置B的单晶重量随着长度的变化率α=(W2‑W1)/(B‑A)、以及位置B到位置C的单晶重量随着长度的变化率β=(W3‑W2)/(C‑B);(2)通过计算确定出单晶理论重量随长度的变化率m,按照m随长度的变化得到一条线,并以此线作为基准线;(3)比较α和β的数值,若m<α<β,则判断生长界面为凸面,提升拉速;若m>α>β,则判断生长界面为凹面,降低拉速;(4)随着单晶长度增加,不断比较连续两段的重量随长度的变化率值,及时调整拉速。
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