涂布装置及涂布方法
摘要:
在使涂布用喷嘴(10)在被涂布体(W)的上方与被涂布体相对移动且从涂布用喷嘴的前端部处的狭缝状排出口(12)向被涂布体的表面涂布涂布液(P)的涂布装置中,使设置有呈规定的图案形状的涂布液收容凹部(14a)的涂布液供给体(14)以能在狭缝状排出口的上方旋转的方式设置于对涂布液进行收容的涂布液收容部(11)内,并且,设置沿着狭缝状排出口的长度方向分离成多个排出部(12a)的分隔构件(13),使涂布液供给体(14)旋转,使涂布液经过与涂布液收容凹部对应的位置处的排出部而涂布至被涂布体的表面。
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