提供一种片式部件的制造方法，包括：在设定于基板表面上的多个片式部件区域的各个区域中形成多个元件要素、外部连接电极以及将多个元件要素以可分离的方式分别连接到外部连接电极的多个保险丝的第一工序；在第一工序之后，仅通过干法蚀刻在多个片式部件区域的边界区域中从基板表面起形成指定深度的槽的第二工序；以及在第二工序之后，磨削基板的背面，直至槽为止，以将基板分割为多个片式部件的第三工序，在第一工序中，在基板的表面仅直线状地排列多个保险丝，在第三工序之前，包括以在基板表面由外部连接电极按压在基板表面的方式形成跨基板表面以及槽的侧面的绝缘膜的工序。