发明授权
- 专利标题: 光束偏摆自动补偿装置以及激光干涉仪
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申请号: CN202111460690.5申请日: 2021-12-02
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公开(公告)号: CN114166113B公开(公告)日: 2024-03-01
- 发明人: 段小艳 , 张大治 , 田森
- 申请人: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区温泉镇环山村1066信箱
- 专利权人: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
- 当前专利权人: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区温泉镇环山村1066信箱
- 代理机构: 北京市隆安律师事务所
- 代理商 付建军
- 主分类号: G01B9/02055
- IPC分类号: G01B9/02055
摘要:
本发明提供一种光束偏摆自动补偿装置以及激光干涉仪,其中光束偏摆自动补偿装置,用于激光干涉仪,包括物镜、前补偿镜、光栏和后补偿镜,来自偏摆目标的偏转光束依次经所述物镜、所述前补偿镜、所述光栏和所述后补偿镜入射到所述激光干涉仪的光电接收器;所述物镜用于对来自偏摆目标的偏转光束进行会聚;所述前补偿镜用于对所述物镜的出射光束进行二次会聚,所述前补偿镜的焦距小于所述前补偿镜与所述物镜的间距;所述光栏用于控制出射光束在所述后补偿镜的入射光瞳;所述后补偿镜用于控制出射光束入射到所述光电接收器的光斑尺寸,所述后补偿镜的焦距小于所述前补偿镜的焦距。本发明能够补偿因被测目标转动导致的光束偏摆。
公开/授权文献
- CN114166113A 光束偏摆自动补偿装置以及激光干涉仪 公开/授权日:2022-03-11