光束偏摆自动补偿装置以及激光干涉仪
摘要:
本发明提供一种光束偏摆自动补偿装置以及激光干涉仪,其中光束偏摆自动补偿装置,用于激光干涉仪,包括物镜、前补偿镜、光栏和后补偿镜,来自偏摆目标的偏转光束依次经所述物镜、所述前补偿镜、所述光栏和所述后补偿镜入射到所述激光干涉仪的光电接收器;所述物镜用于对来自偏摆目标的偏转光束进行会聚;所述前补偿镜用于对所述物镜的出射光束进行二次会聚,所述前补偿镜的焦距小于所述前补偿镜与所述物镜的间距;所述光栏用于控制出射光束在所述后补偿镜的入射光瞳;所述后补偿镜用于控制出射光束入射到所述光电接收器的光斑尺寸,所述后补偿镜的焦距小于所述前补偿镜的焦距。本发明能够补偿因被测目标转动导致的光束偏摆。
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