- 专利标题： 氧化镓基日盲紫外光强度探测器及其制备方法
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申请号： CN202111435516.5申请日： 2021-11-29
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公开(公告)号： CN114122171B公开(公告)日： 2023-07-28
- 发明人: 陈海峰
- 申请人： 西安邮电大学
- 申请人地址： 陕西省西安市长安南路563号
- 专利权人： 西安邮电大学
- 当前专利权人： 西安邮电大学
- 当前专利权人地址： 陕西省西安市长安南路563号
- 代理机构： 西安知诚思迈知识产权代理事务所
- 代理商 高喜凤
- 主分类号： H01L31/032
- IPC分类号： H01L31/032 ; H01L31/0224 ; H01L31/0216 ; H01L31/108 ; H01L31/18
摘要：
本发明公开了一种氧化镓基日盲紫外光强度探测器及其制备方法，所述探测器包括金属层a，金属层a上依次设有输运层、电荷传导层和SiO2层，电荷传导层中间设有端部为插指状的凸起，该凸起穿过SiO2层中间，SiO2层顶部设有横截面为回字形的金属层b，金属层b中间填充有光生电子积累区，电荷传导层的凸起插入光生电子积累区内；本发明的探测效率和灵敏度均良好，能够准确探测日盲紫外光的强度。
公开/授权文献
- CN114122171A 氧化镓基日盲紫外光强度探测器及其制备方法 公开/授权日：2022-03-01
IPC分类:
