金属遮罩的制作方法及电铸母板
摘要:
一种金属遮罩的制作方法,包含:提供电铸母板,包含基材及导电图案层形成于基材上,导电图案层上形成有导电图案部、导电框架部,外边界开槽、以及电流汇入点,导电图案部包含多个图案开口以显露基材,导电框架部围设导电图案部,外边界开槽分别形成于每一导电图案部的相对两侧,电流汇入点形成于外边界开槽,以电性连接导电图案部及导电框架部;进行电铸制程,于电铸母板的表面形成电铸膜;以及对应于外边界开槽对电铸膜进行切割,且分离电铸膜及电铸母板,分离的电铸膜构成金属遮罩,且金属遮罩上具有遮罩开口。一种电铸母板亦被提供。
公开/授权文献
0/0