发明公开
- 专利标题: 金属遮罩的制作方法及电铸母板
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申请号: CN202111305834.X申请日: 2021-11-05
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公开(公告)号: CN114086220A公开(公告)日: 2022-02-25
- 发明人: 杨芸佩 , 程维堂
- 申请人: 达运精密工业股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹县湖口乡光复北路20-1号
- 专利权人: 达运精密工业股份有限公司
- 当前专利权人: 达运精密工业股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹县湖口乡光复北路20-1号
- 代理机构: 北京市立康律师事务所
- 代理商 梁挥; 孟超
- 优先权: 110128063 20210730 TW
- 主分类号: C25D1/10
- IPC分类号: C25D1/10 ; C25D1/08 ; C23C14/04 ; C23C14/24 ; H01L51/56
摘要:
一种金属遮罩的制作方法,包含:提供电铸母板,包含基材及导电图案层形成于基材上,导电图案层上形成有导电图案部、导电框架部,外边界开槽、以及电流汇入点,导电图案部包含多个图案开口以显露基材,导电框架部围设导电图案部,外边界开槽分别形成于每一导电图案部的相对两侧,电流汇入点形成于外边界开槽,以电性连接导电图案部及导电框架部;进行电铸制程,于电铸母板的表面形成电铸膜;以及对应于外边界开槽对电铸膜进行切割,且分离电铸膜及电铸母板,分离的电铸膜构成金属遮罩,且金属遮罩上具有遮罩开口。一种电铸母板亦被提供。
公开/授权文献
- CN114086220B 金属遮罩的制作方法及电铸母板 公开/授权日:2023-11-14