一种单晶炉真空检测系统
摘要:
本发明属于单晶炉技术领域,尤其是一种单晶炉真空检测系统,现提出以下方案,包括固定筒,所述固定筒水平放置,所述固定筒圆周外壁的底端连接有连接管,所述固定筒圆周外壁的一侧连接有抽气管,所述固定筒两端内壁之间的中间位置转动连接有水平放置的安装筒,且安装筒的一端传动连接有驱动电机,所述固定筒远离驱动电机的一端与安装筒中心对应的位置固定有真空度检测仪,且真空度检测仪的探针伸入至安装筒内。本发明利用挡板分别封堵抽气管和连接管,从而区分炉体和真空管道的真空变化情况而有效判别漏气情况,减少真空度检测仪的使用个数,且提高实际对单晶炉真空检测的使用效果和有效性。
公开/授权文献
0/0