具有实心柱的CMOS红外探测器的制备方法及红外探测器
摘要:
本发明涉及一种具有实心柱的CMOS红外探测器的制备方法及红外探测器,制备方法包括采用CMOS工艺制备CMOS测量电路系统和CMOS红外传感结构;制备CMOS红外传感结构包括采用RDL工艺在CMOS测量电路系统的顶层金属上制备第一金属互连层或者以CMOS测量电路系统的顶层金属作为第一金属互连层;采用通孔工艺和CMP平坦化工艺制备第一互连柱;在第一互连柱上方沉积第二金属互连层以形成梁结构;沉积第三金属互连层以形成第二互连柱;沉积第四金属互连层和第二介质层以形成吸收板。通过本发明的技术方案,解决了传统MEMS工艺红外探测器的性能低,像素规模低,良率低以及一致性差的问题,优化了红外探测器的性能。
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