发明公开
- 专利标题: 电池片扩散工艺的磷源传输装置以及包含其的温度控制系统
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申请号: CN202111180211.4申请日: 2021-10-11
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公开(公告)号: CN113932082A公开(公告)日: 2022-01-14
- 发明人: 李进 , 安百俊 , 韩耀璋 , 张佃平 , 石星宇 , 徐尊豪 , 韩博
- 申请人: 宁夏大学
- 申请人地址: 宁夏回族自治区银川市西夏区贺兰山西路489号
- 专利权人: 宁夏大学
- 当前专利权人: 宁夏大学
- 当前专利权人地址: 宁夏回族自治区银川市西夏区贺兰山西路489号
- 代理机构: 北京超凡宏宇专利代理事务所
- 代理商 刘桐亚
- 主分类号: F16L53/32
- IPC分类号: F16L53/32 ; F16L59/14 ; H01L21/67 ; H01L31/18
摘要:
本发明提供了一种电池片扩散工艺的磷源传输装置以及包含其的温度控制系统,涉及太阳能电池技术领域。上述电池片扩散工艺的磷源传输装置包括磷源携源管、热气流进气管、热气流出气管和隔热包覆材料;所述隔热包覆材料包覆磷源携源管、热气流进气管和热气流出气管,形成磷源传输管路;其中,所述热气流进气管和热气流出气管通过调整热气流的流量,进而调节磷源携源管中磷源的温度。上述磷源传输装置通过热气流进气管和热气流出气管的设置可以有效调节磷源携源管中磷源的温度,进而对硅片表面的温度进行控制。