测量偏心转动件的方法和装置
摘要:
介绍一种用于对被测物体的一个偏心转动部分进行自动光学检测的装置和方法。按照一种可避免机械接触并具有产生平行射线的光源和检测装置的测量程序,使偏心转动部分绕转轴转动,其中,检测装置的运动与转动同步,并且使偏心转动部分与检测装置之间在光轴方向的间距保持恒定。按照本发明的方法,可避免在其他的光学测量程序中可能发生的光学畸变。
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