半导体结构
摘要:
半导体结构包括:衬底,具有密封环区域和电路区域;一个或多个介电层,设置在衬底上;连接结构,设置在密封环区域中的一个或多个介电层中,其中,连接结构包括金属层的堆叠件和连接金属层的堆叠件的金属通孔;以及金属插塞,设置在衬底和密封环区域中的连接结构之间,其中,金属插塞在截面图中具有多台阶轮廓。
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