发明授权
- 专利标题： 固定装置、扫描电镜和电子束曝光机
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申请号： CN202110990901.X申请日： 2021-08-26
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公开(公告)号： CN113707522B公开(公告)日： 2022-07-08
- 发明人: 李文龙
- 申请人： 北京中科科仪股份有限公司
- 申请人地址： 北京市海淀区中关村北二条13号
- 专利权人： 北京中科科仪股份有限公司
- 当前专利权人： 北京中科科仪股份有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区中关村北二条13号
- 代理机构： 北京布瑞知识产权代理有限公司
- 代理商 张欣
- 主分类号： H01J37/244
- IPC分类号： H01J37/244 ; H01J37/28 ; H01J37/317
摘要：
本申请提供了一种固定装置、一种扫描电镜以及一种电子束曝光机。本申请所提供的固定装置直接固定于电子光学系统下，使用时无需调节位置，因此无需预留调节位置所需的垂直空间。由于减小了背散射探测器占用的垂直空间，电子光学系统与样品台之间的工作距离可以足够近以满足高精度观测的需求。
公开/授权文献
- CN113707522A 固定装置、扫描电镜和电子束曝光机 公开/授权日：2021-11-26
