一种高压功率半导体器件
摘要:
本发明涉及一种高压功率半导体器件结终端结构,包括:元胞结构和终端结构;在所述元胞结构上部具有弧形槽,所述终端结构包括多种不同导电类型的掺杂条;各不同导电类型的掺杂条相间设置于所述元胞结构上部的槽中,本发明有效解决了传统结终端扩展终端结构的工艺容差小,工艺复杂,终端耐压小,可靠性低的问题。
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