发明授权
- 专利标题: 一种MicroLED面板覆膜装置及使用方法
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申请号: CN202110915361.9申请日: 2021-08-10
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公开(公告)号: CN113634457B公开(公告)日: 2022-06-07
- 发明人: 潘安练 , 李梓维
- 申请人: 湖南大学
- 申请人地址: 湖南省长沙市岳麓区麓山南路2号湖南大学
- 专利权人: 湖南大学
- 当前专利权人: 诺视科技(苏州)有限公司
- 当前专利权人地址: 215000 江苏省苏州市高新区珠江路117号1幢106室
- 代理机构: 长沙市和协专利代理事务所
- 代理商 熊晓妹
- 主分类号: B05C9/14
- IPC分类号: B05C9/14 ; B05C5/02 ; B05C11/08 ; B05C13/02 ; B05C15/00 ; B05D1/00 ; B05D3/02 ; B05D3/04
摘要:
本发明公开了一种MicroLED面板覆膜装置及使用方法,该装置包括箱体、盖板和钝化反应台,盖板与装置箱体可开合连接,盖板下表面中间设有环形密封圈体,装置箱体上安装有控制面板、钝化反应台、抽真空管路;钝化反应台包括可旋转的载物台,载物台有阵列孔,孔与反应台底部的空气管路连通,反应台底部设有电机,牵引载物台转动。本发明提供的MicroLED面板覆膜装置及使用方法有利于量子点在MicroLED面板成膜制造应用时隔绝水氛从而提高成膜的稳定性。
公开/授权文献
- CN113634457A 一种MicroLED面板覆膜装置及使用方法 公开/授权日:2021-11-12