一种MicroLED面板覆膜装置及使用方法
摘要:
本发明公开了一种MicroLED面板覆膜装置及使用方法,该装置包括箱体、盖板和钝化反应台,盖板与装置箱体可开合连接,盖板下表面中间设有环形密封圈体,装置箱体上安装有控制面板、钝化反应台、抽真空管路;钝化反应台包括可旋转的载物台,载物台有阵列孔,孔与反应台底部的空气管路连通,反应台底部设有电机,牵引载物台转动。本发明提供的MicroLED面板覆膜装置及使用方法有利于量子点在MicroLED面板成膜制造应用时隔绝水氛从而提高成膜的稳定性。
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