一种N型太阳能电池硼扩散炉管的清洁方法
摘要:
本发明涉及太阳能电池技术领域,尤其涉及一种N型太阳能电池硼扩散炉管的清洁方法,在不改变炉管结构的情况下,首先前后两次通入携水氮气对炉管进行清洁,充分去除了炉管壁和炉门附着的BSG,有效降低了携水氮气中的水蒸气在炉管中残留概率,避免了水蒸气在炉管工作过程中影响硼扩散效果;然后在通入携水氮气结束后升温通入氧气,有效去除了炉管内沉积的金属离子,在保护炉管、提高炉管寿命的同时提高了产品质量和效率。
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