一种基于二维过渡金属硫族化合物的BJT及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种基于二维过渡金属硫族化合物的BJT及其制备方法,属于半导体微器件领域,包括:带有介质层的单晶硅衬底及其介质层表面同种二维过渡金属硫族化合物依次横向连接的P型薄膜、N型薄膜、P型薄膜,以及位于各薄膜上表面的电极;制备方法包括:在带介质层的单晶硅衬底上表面制备遮挡层,旋涂包含硫元素和过渡金属元素的第一前驱体溶液;在所得样品的上表面旋涂光刻胶后去除遮挡层,在其上表面旋涂金属盐溶解于第一前驱体溶液形成的第二前驱体溶液,去除光刻胶;将所得样品在真空中进行激光辐照;在样品上表面制备金属电极,得到BJT。本发明使薄膜制备掺杂一步完成,解决现有二维材料BJT的制备工艺中薄膜易受损伤,影响器件性能的问题。
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件(H01L31/00至H01L47/00,H01L51/05优先;除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00;由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L29/66 .按半导体器件的类型区分的
H01L29/68 ..只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的(H01L29/96优先)
H01L29/70 ...双极器件
H01L29/72 ....晶体管型器件,如连续响应于所施加的控制信号的
H01L29/73 .....双极结型晶体管
H01L29/735 ......横向晶体管
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