本发明涉及一种脱胶装置，该脱胶装置包括脱胶槽、储酸槽和储水槽，储酸槽和储水槽均通过管道连通脱胶槽，脱胶槽和储酸槽之间的管道上设有第一控制组件，第一控制组件能够控制脱胶槽与储酸槽之间的通断；脱胶槽和储水槽之间的管道上设有第二控制组件，第二控制组件能够控制脱胶槽与储水槽之间的通断。本发明提供的脱胶装置，只需一个脱胶槽，便可实现硅片的浸泡水和浸泡乳酸。大大减少了脱胶装置所设的脱胶槽的数量，减小了脱胶装置的体积，并减小了脱胶装置的制造成本。