Invention Grant
- Patent Title: 确定玻璃基板和涂敷机之间距离的装置和方法
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Application No.: CN202080014174.7Application Date: 2020-02-14
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Publication No.: CN113454038BPublication Date: 2024-06-14
- Inventor: D·里默 , I·R·威廉斯 , S·R·戴 , P·M·哈里斯 , D·埃文斯
- Applicant: 皮尔金顿集团有限公司
- Applicant Address: 英国兰开夏郡
- Assignee: 皮尔金顿集团有限公司
- Current Assignee: 皮尔金顿集团有限公司
- Current Assignee Address: 英国兰开夏郡
- Agency: 中国贸促会专利商标事务所有限公司
- Agent 秦晨
- International Application: PCT/GB2020/050343 2020.02.14
- International Announcement: WO2020/165597 EN 2020.08.20
- Date entered country: 2021-08-13
- Main IPC: C03C17/00
- IPC: C03C17/00 ; C23C16/458 ; C23C16/52 ; G01D5/24 ; G01R27/26
Abstract:
一种化学气相沉积(CVD)涂敷机和至少一个电容式接近传感器的组合体，包括：CVD涂敷机，和至少一个电容式接近传感器，其附接到所述CVD涂敷机，其中所述至少一个电容式接近传感器被布置成确定玻璃基板与所述CVD涂敷机之间的距离。
Public/Granted literature
- CN113454038A 确定玻璃基板和涂敷机之间距离的装置和方法 Public/Granted day:2021-09-28
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