- 专利标题： 基于斜切角衬底的晶体管及其制备方法和气体传感器
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申请号： CN202110695078.X申请日： 2021-06-22
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公开(公告)号： CN113437146B公开(公告)日： 2022-07-15
- 发明人: 孙海定 , 张昊宸 , 邢宠 , 杨磊 , 孙越 , 梁坤
- 申请人： 中国科学技术大学
- 申请人地址： 安徽省合肥市包河区金寨路96号
- 专利权人： 中国科学技术大学
- 当前专利权人： 中国科学技术大学
- 当前专利权人地址： 安徽省合肥市包河区金寨路96号
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 周天宇
- 主分类号： H01L29/778
- IPC分类号： H01L29/778 ; H01L29/06 ; H01L21/335 ; G01N27/12
摘要：
本公开提供一种基于斜切角衬底的晶体管及其制备方法和气体传感器，基于斜切角衬底的晶体管包括：衬底(1)和形成在衬底(1)上方包含有栅极感应区域的帽层(8)；其中，衬底(1)中靠近帽层(8)的面和栅极感应区域均为连续波浪形的台阶结构，台阶结构的台阶面倾斜，栅极感应区域用于气体探测。本公开的连续波浪形台阶结构，大大增加了栅极感应区域的表面粗糙度，提高了气体吸附效率。台阶结构的台阶面倾斜，增大了器件电流密度，提高了气体传感器的输出电流和灵敏度。
公开/授权文献
- CN113437146A 基于斜切角衬底的晶体管及其制备方法和气体传感器 公开/授权日：2021-09-24
IPC分类:
