Invention Publication
- Patent Title: 一种基板作业平台及基板作业平台的控制方法
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Application No.: CN202110517204.2Application Date: 2021-05-12
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Publication No.: CN113387132APublication Date: 2021-09-14
- Inventor: 沈洪星 , 刘晏 , 石斌 , 熊海军 , 赵叶军 , 宋晓波
- Applicant: 合肥欣奕华智能机器有限公司
- Applicant Address: 安徽省合肥市新站区龙子湖路与荆山路交口西南
- Assignee: 合肥欣奕华智能机器有限公司
- Current Assignee: 合肥欣奕华智能机器有限公司
- Current Assignee Address: 安徽省合肥市新站区龙子湖路与荆山路交口西南
- Agency: 北京同达信恒知识产权代理有限公司
- Agent 丁睿
- Main IPC: B65G35/00
- IPC: B65G35/00 ; B65G47/22 ; G02F1/13 ; H01L21/677
Abstract:
本发明涉及半导体领域，公开一种基板作业平台及基板作业平台的控制方法，该基板作业平台，包括：用于承载基板的承载台，所述承载台具有若干个开口区，所述开口区任意组合形成用于承载至少两种规格基板的承载区；与所述开口区对应的气流调节组件，所述气流调节组件可单独控制与其对应的开口区的气流状况。用于实现不同规格基板运送，并且解决基板在运送过程中发生翘曲问题。
Public/Granted literature
- CN113387132B 一种基板作业平台及基板作业平台的控制方法 Public/Granted day:2023-09-12
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IPC分类:
