一种室温双通道可调控的太赫兹探测器以及制备方法
摘要:
本发明公开了一种室温双通道可调控的太赫兹探测器,探测器包括覆盖氧化硅的硅衬底,在覆盖氧化硅的硅衬底上转移分子束外延生长的一维砷化铟纳米线,在一维砷化铟纳米线延伸方向制备源漏电极以及相应的引线电极,在一维砷化铟纳米线的导电沟道上面生长氧化铝栅介质层,分立栅电极分别与对数周期天线两臂互连,在与对数周期天线两臂间距中转移二维石墨烯导电沟道,二维石墨烯导电沟道全部覆盖分立栅电极的外部。本发明采用双通道、响应高且可多维度调控的太赫兹探测;器件的集成度、工艺成熟及可重复性,为实现室温、集成、多通道、可调控的太赫兹探测研究奠定器件与理论基础。
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L31/00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或设备;其零部件(H01L51/42优先;由形成在一共用衬底内或其上的多个固态组件,而不是辐射敏感元件与一个或多个电光源的结合所组成的器件入H01L27/00)
H01L31/08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31/10 ..特点在于至少有一个电位跃变势垒或表面势垒的,例如光敏晶体管
H01L31/101 ...对红外、可见或紫外辐射敏感的器件
H01L31/112 ....以场效应工作为特征的,如结型场效应光敏晶体管
H01L31/113 .....为导体—绝缘体—半导体型的,如金属—绝缘体—半导体场效应晶体管
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