发明公开
- 专利标题: 一种室温双通道可调控的太赫兹探测器以及制备方法
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申请号: CN202110635092.0申请日: 2021-06-08
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公开(公告)号: CN113363344A公开(公告)日: 2021-09-07
- 发明人: 刘昌龙 , 张拾 , 马汝佳 , 李冠海 , 陈效双
- 申请人: 国科大杭州高等研究院
- 申请人地址: 浙江省杭州市西湖区象山支弄1号
- 专利权人: 国科大杭州高等研究院
- 当前专利权人: 国科大杭州高等研究院
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市西湖区象山支弄1号
- 代理机构: 浙江杭州金通专利事务所有限公司
- 代理商 邓世凤
- 主分类号: H01L31/113
- IPC分类号: H01L31/113 ; H01L31/0336 ; H01L31/0224 ; H01L31/18 ; G01J1/42
摘要:
本发明公开了一种室温双通道可调控的太赫兹探测器,探测器包括覆盖氧化硅的硅衬底,在覆盖氧化硅的硅衬底上转移分子束外延生长的一维砷化铟纳米线,在一维砷化铟纳米线延伸方向制备源漏电极以及相应的引线电极,在一维砷化铟纳米线的导电沟道上面生长氧化铝栅介质层,分立栅电极分别与对数周期天线两臂互连,在与对数周期天线两臂间距中转移二维石墨烯导电沟道,二维石墨烯导电沟道全部覆盖分立栅电极的外部。本发明采用双通道、响应高且可多维度调控的太赫兹探测;器件的集成度、工艺成熟及可重复性,为实现室温、集成、多通道、可调控的太赫兹探测研究奠定器件与理论基础。
IPC分类: