发明授权
- 专利标题： 一种光刻胶及图案化方法
-
申请号： CN202110716154.0申请日： 2021-06-25
-
公开(公告)号： CN113341651B公开(公告)日： 2023-08-25
- 发明人: 张腾 , 刘洪雷 , 胡凡华 , 朴大然 , 卢克军 , 张宁
- 申请人： 北京北旭电子材料有限公司 , 上海彤程电子材料有限公司 , 彤程新材料集团股份有限公司
- 申请人地址： 北京市朝阳区东直门外酒仙桥路10号; ;
- 专利权人： 北京北旭电子材料有限公司,上海彤程电子材料有限公司,彤程新材料集团股份有限公司
- 当前专利权人： 北京北旭电子材料有限公司,上海彤程电子材料有限公司,彤程新材料集团股份有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区东直门外酒仙桥路10号; ;
- 代理机构： 北京超凡宏宇专利代理事务所
- 代理商 唐菲
- 主分类号： G03F7/004
- IPC分类号： G03F7/004 ; G03F7/008 ; G03F7/00
摘要：
本申请提供一种光刻胶及图案化方法，属于光刻技术领域。光刻胶包括酚醛树脂和感光剂，感光剂包括第一感光物质和第二感光物质，第一感光物质为多环芳烃与2‑叠氮‑1‑萘酚‑5‑磺酰氯和/或多环芳烃与2‑叠氮‑1‑萘酚‑4‑磺酰氯取代反应的产物，第二感光物质为酚醛树脂四聚体与2‑叠氮‑1‑萘酚‑5‑磺酰氯和/或酚醛树脂四聚体与2‑叠氮‑1‑萘酚‑4‑磺酰氯取代反应的产物。该酚醛树脂型光刻胶能够兼具较好的分辨率以及抗干刻性能。
公开/授权文献
- CN113341651A 一种光刻胶及图案化方法 公开/授权日：2021-09-03
IPC分类:
