- 专利标题: 一种基于机器学习的单层二硫化钼样品光学表征方法、模型及其用途
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申请号: CN202110457826.0申请日: 2021-04-27
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公开(公告)号: CN113283301A公开(公告)日: 2021-08-20
- 发明人: 王权 , 何玥 , 鞠益 , 姚嘉兴
- 申请人: 江苏大学
- 申请人地址: 江苏省镇江市京口区学府路301号
- 专利权人: 江苏大学
- 当前专利权人: 江苏大学
- 当前专利权人地址: 江苏省镇江市京口区学府路301号
- 主分类号: G06K9/00
- IPC分类号: G06K9/00 ; G06K9/32 ; G06K9/38 ; G06K9/46 ; G06K9/62 ; G06N20/10 ; G06T5/00 ; G06T7/13 ; G01N21/65 ; G01N21/84
摘要:
本发明提供了一种基于机器学习的单层二硫化钼样品光学表征方法、模型及其用途。首先,将二硫化钼样品光学成像通过图形处理提取出可疑单层ROI区域;然后,将可疑单层ROI局域的像素值与硅片在光学显微镜下拍摄出来的特征值求差值向量,通过拉曼表征来区分单层和少层样品,通过肉眼观测的方式确定残胶,根据层数分类来建立目标值;将差值向量求平均值和标准值作为特征值,并与目标值组成数据集,最后通过对数据集降维并通过机器学习算法对该数据集进行分类,获得最佳单层表征模型。基于该模型,通过光学成像即可快速分辨出单层二硫化钼样品,极大的节约寻找单层二硫化钼所需要花费的时间。
公开/授权文献
- CN113283301B 一种基于机器学习的单层二硫化钼样品光学表征方法、模型及其用途 公开/授权日:2024-05-17