本发明公开了一种基于反应釜结晶器的复合式高效研磨装置，通过高频横移驱动座的高频震荡移动，实现对结晶罐内壁的高效研磨，提高研磨效率与研磨质量；本发明可以根据需要对外研磨环、中间研磨环和内研磨构件进行控制，实现不同研磨状态或者研磨模式的高效研磨，提高研磨能力与适应能力，实现对内壁表面、内凹弧等角度的全面研磨。本发明的外研磨环的研磨面的粗糙度或者研磨颗粒的粒度小于所述中间研磨环的研磨面的粗糙度或者研磨颗粒的粒度，外研磨环的研磨面的面积或者宽度大于所述中间研磨环的面积或者宽度，这样，可以既保证研磨效率，又能够保证研磨精度，对于每个部位，有些实现先精磨再粗磨再精磨的效果，提供研磨质量。