本发明公开一种CoZrTa合金靶坯及靶材的制备方法，涉及靶材制备领域。本发明提供了一种CoZrTa合金靶坯的制备方法，包括如下步骤：(1)按照配比称量需要的原料，原料包含Co片、Ta片和Zr颗粒，按照层层叠加的方式，底层和最上层为Co片，中间Ta片层和Zr颗粒层不能为相邻层，将原料置于水冷铜坩埚内；(2)将坩埚抽真空后增加功率，观察到熔体内无不溶物翻滚时，保持功率稳定，进行磁悬浮熔炼后保温，得到熔体；(3)将步骤(2)得到的熔体浇铸到模具内成型，初加工和轧制后得到所述CoZrTa合金。本发明与传统工艺相比，生产效率显著提高，靶材成本下降，当靶材厚度为4mm时，高透磁率达到65％。