发明授权
- 专利标题： 一种铝旋转靶材的绑定方法
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申请号： CN202110421315.3申请日： 2021-04-19
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公开(公告)号： CN113215539B公开(公告)日： 2022-08-05
- 发明人: 余芳 , 文崇斌 , 朱刘 , 王英洁
- 申请人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
- 申请人地址： 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区
- 专利权人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
- 当前专利权人： 先导薄膜材料(广东)有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号A区
- 代理机构： 广州三环专利商标代理有限公司
- 代理商 颜希文
- 主分类号： C23C14/34
- IPC分类号： C23C14/34 ; C23C26/02 ; B22D19/04
摘要：
本发明公开了一种铝旋转靶材的绑定方法，属于溅射靶材制备领域。本发明所述铝旋转靶材的绑定方法，首先分别对背管及靶材进行特定条件的涂布金属化处理，随后再进行两者的加热绑定，在保持焊料浸湿性的同时可有效避免靶材在绑定过程中产生的合金杂质，所述铝旋转靶材经过处理后的绑定率高，生产效率高。
公开/授权文献
- CN113215539A 一种铝旋转靶材的绑定方法 公开/授权日：2021-08-06
IPC分类:
