摘要：
本发明涉及基于分层式装料方式的再生多晶硅铸锭工艺，其特征在于步骤如下：在坩埚底部铺设原生多晶硅层；在原生多晶硅层上铺设多层硅废料层，所述硅废料层由下至上按照硅废料等级从低到高排列，所述硅废料等级根据硅废料的电阻率平均值进行划分，电阻率平均值越低，硅废料等级越低；在顶部铺设一层原生多晶硅层；加热铸锭。本发明通过分层式装料使电阻最低、杂质浓度最高的硅料最后熔化，减少了高浓度杂质对硅锭质量的影响。
公开/授权文献
- CN113186596A 一种基于分层式装料方式的再生多晶硅铸锭工艺 公开/授权日：2021-07-30
IPC分类:
