发明公开
CN112894608A 一种可调节式石英研磨装置
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种可调节式石英研磨装置
-
申请号: CN202110093710.3申请日: 2021-01-22
-
公开(公告)号: CN112894608A公开(公告)日: 2021-06-04
- 发明人: 蔡新域
- 申请人: 宁波云德半导体材料有限公司
- 申请人地址: 浙江省宁波市杭州湾新区华轩路161号数字经济产业园28栋
- 专利权人: 宁波云德半导体材料有限公司
- 当前专利权人: 宁波云德半导体材料有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省宁波市杭州湾新区华轩路161号数字经济产业园28栋
- 代理机构: 杭州五洲普华专利代理事务所
- 代理商 侯申飞
- 主分类号: B24B37/00
- IPC分类号: B24B37/00 ; B24B37/34 ; B24B37/27 ; B24B57/02
摘要:
本发明公开了一种可调节式石英研磨装置,包括机身、机械臂、安装在机身上的驱动装置,驱动装置与研磨盘相连,机械臂滑动安装在机身的支撑架上,支撑架上设有喷淋管,机械臂包括滑座、立杆、压力杆,滑座在支撑架上滑动一定距离后用锁紧装置固定,立杆上设有压力调节旋钮,立杆内部设有压力调节机构和螺纹连接部,压力调节机构包括丝杆、齿轮,所述压力调节旋钮与齿轮相连,丝杆与螺纹连接部螺纹连接,丝杆底部设有压力传感器,所述压力杆上端插入立杆内且可在立杆内部上下滑动,压力杆上端和压力传感器之间设有弹簧,压力杆下端安装有夹爪。本发明具有研磨位置研磨量易调节,可自动添加研磨液,减少加工时间,提高产品的研磨效率和质量等优点。