一种快钳式真空绝缘密封连接装置
摘要:
本发明公开了一种快钳式真空绝缘密封连接装置,包括两条金属连接管道、两个金属KF系列法兰、两个绝缘套、绝缘中心支架、O型密封圈、金属快钳式卡箍;所述两条金属连接管道,一条连接加速器、另一条接生产靶;所述的绝缘中心支架布设在两条金属连接管道的两个端面、及两个KF系列法兰的两个端面之间,所述绝缘套分别环套在各自KF系列法兰外壁上、用于径向隔离KF系列法兰及快钳式卡箍之间的导电性;所述绝缘中心支架的内径d>金属连接管道的通径D,用以减少高功率束流扫射到绝缘中心支架上。本发明通过互换束流过渡管道上绝缘材料和金属材料的位置,不但解决了现有技术绝缘管道容易被高功率束流损坏而漏真空的问题,还解决了快捷拆卸问题。
公开/授权文献
0/0