聚酰亚胺正型光刻胶组合物

发明授权

CN112859523B 聚酰亚胺正型光刻胶组合物有权

摘要：

一种聚酰亚胺正型光刻胶组合物，包括：一树脂成分；一交联剂；一感光剂；以及一溶剂。其中，树脂成分包括：81wt％至99wt％的聚酰亚胺树脂；以及1wt％至19wt％的丙烯酸树脂，包括一含环氧基的单体。

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IPC分类:

G	物理
G03	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F	图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G）
G03F7/00	图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L21/00，H05K）
G03F7/004	.感光材料（G03F7/12，G03F7/14优先）
G03F7/039	..可光降解的高分子化合物，例如，正电子抗蚀剂（G03F7/075优先；高分子苯醌重氮化合物入G03F7/023）