- 专利标题： 用于晶体生长设备的坩埚升降机构和晶体生长设备
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申请号： CN202011629059.9申请日： 2020-12-31
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公开(公告)号： CN112831830B公开(公告)日： 2022-05-10
- 发明人: 袁长路 , 苗江涛
- 申请人： 徐州晶睿半导体装备科技有限公司
- 申请人地址： 江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号
- 专利权人： 徐州晶睿半导体装备科技有限公司
- 当前专利权人： 徐州晶睿半导体装备科技有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号
- 主分类号： C30B15/30
- IPC分类号： C30B15/30 ; C30B15/28 ; C30B29/06
摘要：
本发明公开了一种用于晶体生长设备的坩埚升降机构和晶体生长设备，坩埚升降机构包括坩埚轴、称重组件和调节组件，坩埚适于安装在坩埚轴上，坩埚轴用于驱动坩埚上下移动和驱动坩埚绕坩埚轴的中心轴线转动，称重组件与坩埚轴配合，且用于称量坩埚轴上的承载重量并输出称重信息，调节组件连接坩埚轴和称重组件，且用于调整坩埚轴和称重组件在坩埚轴的轴向上的相互作用力。根据本发明的用于晶体生长设备的坩埚升降机构，具有良好的称量稳定性和准确性。
公开/授权文献
- CN112831830A 用于晶体生长设备的坩埚升降机构和晶体生长设备 公开/授权日：2021-05-25
IPC分类:
