发明公开
- 专利标题: 像素、相关的图像传感器和方法
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申请号: CN202010947336.4申请日: 2020-09-10
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公开(公告)号: CN112825323A公开(公告)日: 2021-05-21
- 发明人: 臧辉 , 杨存宇 , 陈刚
- 申请人: 豪威科技股份有限公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 豪威科技股份有限公司
- 当前专利权人: 豪威科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 北京清亦华知识产权代理事务所
- 代理商 宋融冰
- 优先权: 16/689,847 20191120 US
- 主分类号: H01L27/146
- IPC分类号: H01L27/146
摘要:
一种像素,包括半导体衬底、低κ电介质和半导体衬底中的光电二极管区域。半导体衬底具有形成沟槽的衬底顶表面。沟槽延伸到半导体衬底中并且具有相对于围绕沟槽的衬底顶表面的平面区域的沟槽深度。低κ电介质在沟槽深度与相对于平面区域的低κ深度之间的沟槽中。低κ深度小于沟槽深度。光电二极管区域在半导体衬底中并且包括(i)在沟槽下方的底部光电二极管部分和(ii)与沟槽相邻的顶部光电二极管部分。顶部光电二极管部分在相对于平面区域小于低κ深度的光电二极管深度处开始,并且朝向底部光电二极管部分延伸并且邻接底部光电二极管部分。
IPC分类: