- 专利标题： 一种制备表面改性的氧化铈颗粒及含其的抛光液的方法
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申请号： CN202110003323.6申请日： 2021-01-04
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公开(公告)号： CN112778970B公开(公告)日： 2022-05-10
- 发明人: 王溯 , 蒋闯 , 马丽 , 寇浩东 , 孙涛 , 章玲然 , 张德贺 , 秦长春
- 申请人： 上海晖研材料科技有限公司
- 申请人地址： 上海市松江区思贤路3600号2幢4楼2409室
- 专利权人： 上海晖研材料科技有限公司
- 当前专利权人： 上海晖研材料科技有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市松江区思贤路3600号2幢4楼2409室
- 主分类号： C09K3/14
- IPC分类号： C09K3/14 ; C09C1/00 ; C09C3/12 ; C09G1/02 ; H01L21/311
摘要：
本发明公开了一种制备表面改性的氧化铈颗粒及含其的抛光液的方法。表面改性的氧化铈颗粒的制备方法包括如下步骤，在如式I所示的改性剂的作用下，将氧化铈进行改性，得表面改性的氧化铈颗粒。本发明制备方法制备得到的改性氧化铈颗粒能够作为抛光液的磨粒，其能选择性抛光氧化硅膜，且抛光后表面粗糙度小。
公开/授权文献
- CN112778970A 一种制备表面改性的氧化铈颗粒及含其的抛光液的方法 公开/授权日：2021-05-11
