Invention Publication
CN112680185A 一种表面改性的二氧化硅作为磨粒的应用
无效 - 驳回
- Patent Title: 一种表面改性的二氧化硅作为磨粒的应用
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Application No.: CN202110003364.5Application Date: 2021-01-04
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Publication No.: CN112680185APublication Date: 2021-04-20
- Inventor: 王溯 , 蒋闯 , 马丽 , 孙涛 , 章玲然 , 秦长春 , 张德贺 , 寇浩东
- Applicant: 上海晖研材料科技有限公司
- Applicant Address: 上海市松江区思贤路3600号2幢4楼2409室
- Assignee: 上海晖研材料科技有限公司
- Current Assignee: 上海晖研材料科技有限公司
- Current Assignee Address: 上海市松江区思贤路3600号2幢4楼2409室
- Agency: 上海弼兴律师事务所
- Agent 王卫彬; 陈卓
- Main IPC: C09K3/14
- IPC: C09K3/14
Abstract:
本发明公开了一种表面改性的二氧化硅作为磨粒的应用。本发明提供了一种表面改性的二氧化硅作为磨粒的应用，其特征在于，所述表面改性的二氧化硅由下述制备方法制备得到：在溶剂中，将二氧化硅与硅烷偶联剂反应，得到表面改性的二氧化硅；所述的硅烷偶联剂为八氨苯基‑POSS和/或八氯丙基‑POSS。所述表面改性的二氧化硅能极大提高多晶硅相对于硅氮化物的研磨选择性，提升对含Si材料的研磨速率，并且显著提高对钌的研磨速率。
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