- 专利标题: 一种650nm垂直腔面激光器及其制备方法
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申请号: CN201910934215.3申请日: 2019-09-29
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公开(公告)号: CN112582877A公开(公告)日: 2021-03-30
- 发明人: 于军 , 张雨 , 张新 , 邓桃 , 朱振
- 申请人: 山东华光光电子股份有限公司
- 申请人地址: 山东省济南市高新区天辰大街1835号
- 专利权人: 山东华光光电子股份有限公司
- 当前专利权人: 山东华光光电子股份有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省济南市高新区天辰大街1835号
- 代理机构: 北京华际知识产权代理有限公司
- 代理商 张文杰
- 主分类号: H01S5/183
- IPC分类号: H01S5/183 ; H01S5/187
摘要:
本发明公开了一种650nm垂直腔面激光器及其制备方法,所述激光器包括GaAs衬底,所述GaAs衬底表面自下而上依次生长GaAs缓冲层、N型DBR层、AlxGa1‑xInP下波导层、量子阱、AlxGa1‑xInP上波导层、P型DBR层、GaAs窗口层;所述N型DBR层自下而上包括低反射率AlxGa1‑xInP/AlInP DBR层、高反射率AlxGa1‑xInP/AlInP DBR层,所述低反射率AlxGa1‑xInP/AlInP DBR层在GaAs缓冲层上生长,所述AlxGa1‑xInP下波导层在高反射率AlxGa1‑xInP/AlInP DBR层上生长。本发明公开了一种650nm垂直腔面激光器及其制备方法,工艺设计合理,操作简单,不仅有效解决了原有的激光器材料易氧化,激光器可靠性差的问题,同时还通过高低不同反射率的DBR层堆叠,实现光子的最大行程反射,提高了有源区复合效率,增加激光器功率,具有较高的实用性。
公开/授权文献
- CN112582877B 一种650nm垂直腔面激光器及其制备方法 公开/授权日:2021-10-01