一种650nm垂直腔面激光器及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种650nm垂直腔面激光器及其制备方法,所述激光器包括GaAs衬底,所述GaAs衬底表面自下而上依次生长GaAs缓冲层、N型DBR层、AlxGa1‑xInP下波导层、量子阱、AlxGa1‑xInP上波导层、P型DBR层、GaAs窗口层;所述N型DBR层自下而上包括低反射率AlxGa1‑xInP/AlInP DBR层、高反射率AlxGa1‑xInP/AlInP DBR层,所述低反射率AlxGa1‑xInP/AlInP DBR层在GaAs缓冲层上生长,所述AlxGa1‑xInP下波导层在高反射率AlxGa1‑xInP/AlInP DBR层上生长。本发明公开了一种650nm垂直腔面激光器及其制备方法,工艺设计合理,操作简单,不仅有效解决了原有的激光器材料易氧化,激光器可靠性差的问题,同时还通过高低不同反射率的DBR层堆叠,实现光子的最大行程反射,提高了有源区复合效率,增加激光器功率,具有较高的实用性。
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