用于压印纳米结构的方法和装置
摘要:
本发明涉及用于将纳米结构(13)从纳米结构压模(5)压印到施加到基体(7)上的、能够硬化的材料(8)的压模面(14)中的方法,具有下列步骤、尤其下列过程:相对于所述压模面(14)对齐所述纳米结构(13),通过如下方式压印所述压模面(14):A)通过所述纳米结构压模(5)的变形来预紧所述纳米结构压模(5)和/或通过所述基体(7)的变形来预紧所述基体(7),B)所述压模面(14)的部分面(15)与所述纳米结构压模(5)接触,以及C)至少部分地、尤其主要地,通过预紧所述纳米结构压模(5)和/或预紧所述基体(7)自动接触所述其余面(16)。
0/0