发明公开
- 专利标题: 用于压印纳米结构的方法和装置
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申请号: CN202011231500.8申请日: 2014-04-22
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公开(公告)号: CN112445066A公开(公告)日: 2021-03-05
- 发明人: G.克赖因德尔
- 申请人: EV , 集团 , E·索尔纳有限责任公司
- 申请人地址: 奥地利圣弗洛里安
- 专利权人: EV,集团,E·索尔纳有限责任公司
- 当前专利权人: EV,集团,E·索尔纳有限责任公司
- 当前专利权人地址: 奥地利圣弗洛里安
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 刘子豪; 王玮
- 主分类号: G03F7/00
- IPC分类号: G03F7/00
摘要:
本发明涉及用于将纳米结构(13)从纳米结构压模(5)压印到施加到基体(7)上的、能够硬化的材料(8)的压模面(14)中的方法,具有下列步骤、尤其下列过程:相对于所述压模面(14)对齐所述纳米结构(13),通过如下方式压印所述压模面(14):A)通过所述纳米结构压模(5)的变形来预紧所述纳米结构压模(5)和/或通过所述基体(7)的变形来预紧所述基体(7),B)所述压模面(14)的部分面(15)与所述纳米结构压模(5)接触,以及C)至少部分地、尤其主要地,通过预紧所述纳米结构压模(5)和/或预紧所述基体(7)自动接触所述其余面(16)。