一种光束质量测量方法及系统
摘要:
本申请涉及一种光束质量测量方法及系统,该方法包括:将待测量的光束射入聚焦透镜进行聚焦,使聚焦后的光束射入分光镜组;分光镜组包括多个均匀设置在聚焦透镜的光轴上、且与光轴相交于分光镜的镜面中心的分光镜;由每个CCD检测从每个分光镜折射出的光束的光斑大小;根据测量光斑大小,分别控制对应的CCD沿可移动路线移动,测量光斑最小时的光斑大小;其中,可移动路线与光轴垂直,垂直为分光镜的镜面中心,CCD可移动路程等于相邻两分光镜间的距离;根据每个CCD测量出的光斑大小和对应的第一距离,拟合得到光斑大小与第一距离关系曲线;根据光斑大小与第一距离关系曲线计算当前光束质量。本申请具有测量速度快、实时性好的效果。
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