发明公开
- 专利标题: 一种光束质量测量方法及系统
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申请号: CN202011231540.2申请日: 2020-11-06
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公开(公告)号: CN112378623A公开(公告)日: 2021-02-19
- 发明人: 蔡志强
- 申请人: 北京卓镭激光技术有限公司
- 申请人地址: 北京市顺义区安平北街8号院16号楼-1至5层101内1-5层
- 专利权人: 北京卓镭激光技术有限公司
- 当前专利权人: 北京卓镭激光技术有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市顺义区安平北街8号院16号楼-1至5层101内1-5层
- 代理机构: 北京维正专利代理有限公司
- 代理商 何爽
- 主分类号: G01M11/02
- IPC分类号: G01M11/02
摘要:
本申请涉及一种光束质量测量方法及系统,该方法包括:将待测量的光束射入聚焦透镜进行聚焦,使聚焦后的光束射入分光镜组;分光镜组包括多个均匀设置在聚焦透镜的光轴上、且与光轴相交于分光镜的镜面中心的分光镜;由每个CCD检测从每个分光镜折射出的光束的光斑大小;根据测量光斑大小,分别控制对应的CCD沿可移动路线移动,测量光斑最小时的光斑大小;其中,可移动路线与光轴垂直,垂直为分光镜的镜面中心,CCD可移动路程等于相邻两分光镜间的距离;根据每个CCD测量出的光斑大小和对应的第一距离,拟合得到光斑大小与第一距离关系曲线;根据光斑大小与第一距离关系曲线计算当前光束质量。本申请具有测量速度快、实时性好的效果。