本发明公开了一种C、Al双元素注入制备低摩擦氟硅橡胶表面的方法，是采用真空电弧离子源，在氟硅橡胶表面依次注入C、Al，获得机械强度改善的低摩擦氟硅橡胶，氟硅橡胶的摩擦系数从0.8降低到0.25左右。本发明由于氟硅橡胶C元素的掺入能够有效提高了FVMQ机械强度、耐油性和溶胀性；Al元素的掺入能够降低FVMQ的摩擦系数，获得低摩擦补强FVMQ，对工业应用来说，本发明具有重要意义。另外，本发明采用Mevva‑5.Ru真空电弧离子源在FVMQ表面进行了双元素（C和Al）的序列注入，其操作简单，可控性强。